Sputtering Txheej Thaum cov khoom siv hluav taws xob siab ua rau cov khoom ntog, cov khoom ntawm cov khoom tuaj yeem nce lub zog thiab khiav tawm ntawm qhov chaw kom tso rau ntawm lub substrate.Sputtering phenomenon pib siv nyob rau hauv txheej technology nyob rau hauv 1870, thiab maj mam siv nyob rau hauv industrial ntau lawm tom qab 1930 vim qhov nce ntawm deposition tus nqi.Cov cuab yeej siv ob-ncej sputtering feem ntau yog pom hauv daim duab 3 [Schematic daim duab ntawm ob lub tshuab nqus tsev ncej sputtering].Feem ntau cov khoom yuav tsum tau muab tso rau hauv lub phaj-ib lub hom phiaj, uas yog tsau rau ntawm lub cathode.Lub substrate yog muab tso rau ntawm lub anode ntsib lub hom phiaj nto, ob peb centimeters deb ntawm lub hom phiaj.Tom qab lub kaw lus tau muab tso rau hauv lub tshuab nqus tsev siab, nws tau ntim nrog 10 ~ 1 Pa roj (feem ntau yog argon), thiab qhov hluav taws xob ntawm ob peb txhiab volts yog siv los ntawm cov cathode thiab cov anode, thiab lub teeb ci yog tsim los ntawm ob lub electrodes. .Cov ions zoo tsim los ntawm kev tawm ya mus rau cathode nyob rau hauv qhov kev txiav txim ntawm hluav taws xob teb thiab sib tsoo nrog cov atoms ntawm lub hom phiaj nto.Lub hom phiaj atoms uas khiav tawm ntawm lub hom phiaj nto vim kev sib tsoo yog hu ua sputtering atoms, thiab lawv lub zog yog nyob rau hauv thaj tsam ntawm 1 txog kaum ntawm electron volts.Cov atoms sputtered yog tso rau saum npoo ntawm substrate los ua ib zaj duab xis.Tsis zoo li evaporation txheej, sputter txheej tsis txwv los ntawm lub melting point ntawm cov ntaub ntawv zaj duab xis, thiab muaj peev xwm sputter refractory tshuaj xws li W, Ta, C, Mo, WC, TiC, thiab lwm yam. txoj kev, uas yog, cov roj reactive (O, N, HS, CH, thiab lwm yam) yog
Ntxiv rau cov roj Ar, thiab cov roj reactive thiab nws cov ions hnov mob nrog lub hom phiaj atom lossis cov atom sputtered los ua ib qho kev sib xyaw (xws li oxide, nitrogen, thiab lwm yam) thiab tso rau ntawm lub substrate.Ib txoj kev siv ntau zaus sputtering tuaj yeem siv los tso cov yeeb yaj kiab insulating.Lub substrate yog mounted rau hauv av electrode, thiab lub hom phiaj insulating yog mounted rau ntawm opposite electrode.Ib qho kawg ntawm cov khoom siv hluav taws xob ntau zaus yog hauv av, thiab ib qho kawg yog txuas nrog lub electrode nruab nrog lub hom phiaj insulating los ntawm kev sib txuam network thiab DC thaiv cov capacitor.Tom qab hloov ntawm lub zog hluav taws xob ntau zaus, qhov hluav taws xob ntau zaus hloov pauv nws cov polarity.Cov electrons thiab zoo ions nyob rau hauv lub plasma ntaus lub hom phiaj insulating thaum lub sij hawm zoo ib nrab voj voog thiab qhov tsis zoo ib nrab voj voog ntawm qhov voltage, feem.Txij li thaum lub electron txav tau siab dua qhov zoo ions, qhov chaw ntawm lub hom phiaj insulating yog qhov tsis zoo.Thaum lub dynamic equilibrium mus txog, lub hom phiaj yog nyob rau hauv ib tug tsis zoo bias peev xwm, thiaj li hais tias qhov zoo ions sputtering ntawm lub hom phiaj mus ntxiv.Kev siv cov magnetron sputtering tuaj yeem nce qhov kev tso nyiaj los ntawm ze li qhov kev txiav txim ntawm qhov loj me piv nrog cov tsis-magnetron sputtering.
Post lub sij hawm: Lub Xya hli ntuj-31-2021